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니콘-인텔, 차세대 반도체 노광기 개발
반도체 생산비를 절반으로 절감
한국LED산업신문
▲ 니콘의 반도체 노광기.     © 한국LED산업신문
일본의 니혼게이자이신문은 8월 8일 “니콘과 인텔이 반도체 생산비를 절반으로 줄일 수 있는 차세대 반도체 노광기(semiconductor stepper)를 공동 개발한다”고 보도했다.

세계 2위 반도체 노광기 제조업체 니콘은 오는 2018년 상용화를 목표로 개발에 착수했다. 차세대 노광기는 현재 주류를 이루고 있는 지름 300mm의 반도체 웨이퍼보다 더 넓은 450mm 웨이퍼 공정을 수행할 수 있다.

450mm 반도체 웨이퍼는 300mm 웨이퍼보다 반도체 칩을 2배 더 많이 생산할 수 있기 때문에, 반도체 생산비를 크게 줄일 수 있다.

다만 연구·개발(R&D) 비용이 막대해, 인텔이 R&D 비용 수백엔을 부담하기로 결정했다.

인텔의 결정은 반도체 생산업체와 반도체 장비업체간 협력 강화 추세를 보여줬다. 인텔은 최근 세계 노광기 시장의 80%를 점유하고 있는 네덜란드 회사 ASML 홀딩에도 41억 달러를 투자했다.
/ 엄재성 기자 news@lednews.net
기사입력: 2012/08/09 [15:44]  최종편집: ⓒ lednews.net
 
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